
工作原理
應用範圍
產品特點
技術參數表
| SF係列電子束蒸發光學真空鍍膜機 | |||||||
| 型號 | SF-800 | SF-1200 | SF-1400 | SF-1600 | SFW-1000 | SFW-1200 | SFW-1600 | 
| 真空(kōng)室尺寸(cùn) | Φ800×1000MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1600×1800MM | Φ1000×1100MM | Φ1200×1400MM | Φ1600×1800MM | 
| 真(zhēn)空(kōng)機(jī)組 | KT500擴散泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組(zǔ) | 雙KT630擴散泵(bèng)機組 | KT500擴散泵機組(zǔ) | KT630擴散泵機組(zǔ) | 雙KT630擴散泵機組 | 
| 鍍膜係統 | 電子槍蒸發源(yuán)、鍍膜輔助離子專用電源或霍爾(ěr)離子源 | ||||||
| 充氣係統 | 壓強控製儀(yí) | ||||||
| 控製方式 | 手(shǒu)動(dòng)或半自動 | ||||||
| 膜厚監控係統 | 石英晶體膜厚監控係統(tǒng) | ||||||
| 抽(chōu)氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 
| 極(jí)限真空 | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 
| 備注 | 以(yǐ)上設備參數僅做參(cān)考,具體均按客戶實際工藝要(yào)求設計訂做 | ||||||