當前位置(zhì):首頁|HLB大型板材管材真空鍍膜機(jī)
工作原理
應用範圍
產品特點
技術(shù)參數表
HLB係列大型(xíng)板(bǎn)材管材真空鍍膜機(jī) | |||||||
型號 | HLB-1800 | HLB-2000 | HLB-3000 | HLW-2000 | HLW3000 | HLW-4000 | HLW-5000 |
真空室尺寸 | Φ1800×2000MM | Φ2000×2000MM | Φ3000×3000MM | Φ2000×6000MM | Φ3000×6000MM | Φ4000×8000MM | Φ5000×10000MM |
真空機組(zǔ) | 雙KT800擴散(sàn)泵(bèng)機組 | 雙KT1000擴散泵機組 | 雙KT1000擴(kuò)散泵機組*2套 | 雙KT1000擴散泵機組 | 雙KT1000擴散泵機組*2套 | 雙KT1000擴散泵(bèng)機組*2套 | 雙KT1000擴散泵機組(zǔ)*4套 |
鍍膜係統 | 專用多弧鍍膜電(diàn)源+多功能孿(luán)生磁環弧靶+柱形(xíng)弧靶(可選(xuǎn)配) | ||||||
輔助鍍膜係統 | 低溫離子輔助源(除工具鍍外無需加溫係統) | ||||||
充氣係統 | 質量流量計 | ||||||
控(kòng)製方式 | 手動或全(quán)自動 | ||||||
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa |
備注 | 以上設備參數僅做參考,具體均按客戶實際工藝要求(qiú)設計(jì)訂做 |