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现代真空镀膜机(jī)膜厚的(de)测量及监控方法

作者: 来源(yuán): 日期:2016-01-12 16:12:17 人气:111172
    最直接的镀膜控制方法是石英晶体微量平衡法(QCM),这种仪器可以直接驱动蒸发源,通过PID控制循环(huán)驱动挡板(bǎn),保持蒸发速率。只要将仪器与系统控制软件相连接,它就可以控(kòng)制整个的镀膜(mó)过程(chéng)。但是(QCM)的精确度是有限的(de),部分原因是由于它监控的是被镀膜的质量而不是其光学厚度。
    此外虽然QCM在较(jiào)低(dī)温度下非常稳定,但温度较高时(shí),它会变得对温度非常敏感。在长时间(jiān)的加热过程中,很(hěn)难阻止传感器(qì)跌入这个敏感区域(yù),从而对膜层造成重大误(wù)差。
    光学(xué)监(jiān)控是高精密(mì)镀膜的的首(shǒu)选监控方式,这是因为它可以更精确地控(kòng)制膜层厚度(如果运用得当)。精确度的改进源于很多因素,但最根本的原因是对光学厚度的监控。
    OPTIMAL SWA-I-05单波长光学监控系统,是采用间接测控,结合(hé)汪博士(shì)开(kāi)发的先进光学监控软件,有效提高光学反应对(duì)膜厚度变化(huà)灵敏度的理(lǐ)论和方法来减少终极误差,提供了反馈或传输的选择(zé)模式和大范(fàn)围的(de)监测波长。特(tè)别适合于各种膜厚的镀膜(mó)监控包括非规整膜(mó)监控。
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