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如何掌控真(zhēn)空鍍膜的均勻性

作(zuò)者: 來源: 日期:2023-04-10 14:44:49 人氣:2197
如何掌控真空(kōng)鍍膜的均勻(yún)性
我們先來認識下怎(zěn)麽調試鍍膜機,因(yīn)為掌握調試鍍膜機是使用(yòng)鍍膜機的關鍵怎麽調試鍍膜機
1、測試設備的抽真空速度,在測試過程中檢查漏氣(qì)情況與(yǔ)各真空泵的性能;
2、測試設備的密封性能,就是抽到極限後保壓1小時看壓降是否達標,同(tóng)時排除細小的漏孔;
3、產品試作,檢驗(yàn)其他的性能,比如傳動、加熱、絕緣等等;
4、如果有工藝保證的話就繼續打樣並作測試(shì)。
5、所有的測試應作(zuò)記錄,並(bìng)有記錄人簽字以及有使用部(bù)門或(huò)工程部門的人確認簽字

怎麽掌控(kòng)真空鍍膜的均勻性?
由於車燈鍍膜機原理的不(bú)同分為很多種類,僅僅因為都需(xū)要高真空度而(ér)擁有統一名稱。所以對於不同原理的真空鍍膜,影響均勻(yún)性的因素也不盡(jìn)相(xiàng)同。並且均勻性這個概念本身也會隨著鍍膜尺(chǐ)度和(hé)薄膜成分而有著(zhe)不(bú)同的意義,下麵分別說一下:

均勻性主要體現在3方麵:

1、厚度上的均勻性,也可以理解為粗糙度,在光學薄膜的尺度上看(也就是1/10波長作為單位,約為100A),真空鍍膜的(de)均勻性已經相當(dāng)好,可以輕鬆將粗糙度控(kòng)製在可見光波長的1/10範圍內,也就是說對於多弧離子鍍膜機的光學特性來(lái)說,真空鍍膜沒有任何障礙。但是如果是指原子層尺度上的均勻度,也就(jiù)是說要實現10A甚至1A的表麵平整,是(shì)現在真(zhēn)空鍍膜中主(zhǔ)要的技術含量與技術瓶頸所在。
2、化學組分上的均勻性:就是說在薄膜中,化合物的原子組分(fèn)會由於尺度過小而很容易的產生不均勻特性,SiTiO3薄膜,如果濺控濺射鍍膜機過程不科學,那麽實際表麵的組分並不是SiTiO3,而(ér)可能是其他的比例,鍍的膜並非是想要的膜的化學成分,這也(yě)是真(zhēn)空鍍膜的技術含量所在。
3、晶(jīng)格有序度的均勻性:這決定了薄膜是單(dān)晶,多晶,非晶,是真空鍍膜技術(shù)中的熱點問題。 
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