SF係列電子束蒸發(fā)光學真空鍍膜機

日期:2016-01-13 10:14:16 人氣:24357
SF係列電(diàn)子束蒸發(fā)光學真空鍍膜機

工(gōng)作原理(lǐ)

電子束蒸發是將膜材放入水冷銅坩堝中,直接利用(yòng)電子束(shù)加熱,使膜材(cái)中的原子或分子從表麵汽化逸出後入射到基片表麵凝結成膜。電子束蒸發比一般電阻加熱(rè)蒸發熱效率(lǜ)高(gāo)、束流密度大、蒸發(fā)速度快,製成的薄膜(mó)純度高。

應用範圍

光(guāng)學鍍膜(mó)設備可鍍製層數較多的短波通、長波通、增透膜、反射膜、濾光膜、分光膜、帶通膜(mó)、介質膜、高反膜、彩色反射膜等各種膜係,能夠實現0-50層膜的膜係鍍膜(mó),也能滿足如汽車反光玻璃、、眼鏡片、光學鏡頭(tóu)、冷光杯等產品的鍍膜要求。配置不同的蒸發源、電子槍和離子源及膜厚儀可鍍多種(zhǒng)膜係,對金屬、氧化物、化(huà)合物(wù)及其他高熔點膜材皆可蒸鍍

產品特點

1)  光學鍍膜配備有石英晶體膜厚儀,采用PLC與觸摸(mō)屏係統聯合實現對整個工作過程的自動控(kòng)製,工作效率和產品質(zhì)量重複性一致性優(yōu)良(liáng).
2)適用於光學(xué)領域行業,大規模工業(yè)生產要求(qiú)的廠商使用。

技術參數表

SF係(xì)列電子束蒸發光學真空鍍膜機    
型號SF-800SF-1200SF-1400SF-1600SFW-1000SFW-1200SFW-1600
真空室尺寸 Φ800×1000MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1600×1800MMΦ1000×1100MMΦ1200×1400MMΦ1600×1800MM
真空機組KT500擴散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵(bèng)機組雙(shuāng)KT630擴散泵機組KT500擴散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組
鍍膜係(xì)統電子槍蒸發源、鍍膜(mó)輔助(zhù)離子專(zhuān)用(yòng)電源或霍爾離子(zǐ)源
充氣係統壓強控製儀(yí)
控製方式手動或半自(zì)動
膜(mó)厚(hòu)監控係統石英晶體膜厚(hòu)監控係(xì)統
抽氣速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極限真空3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa
備注以上設備參數僅做參考,具體均按客戶實際工藝要求設計(jì)訂做
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