當前(qián)位置:首頁|DN係列多功能真空鍍膜機(jī)

工作原理
應用範圍
產品特點
技術(shù)參數表
| DN係列多功能真空鍍膜機(jī) | |||||||
| 型號 | DN-600 | DN-800 | DN-1000 | DN-1200 | DN-1400 | DN-1500 | DN-1600 |
| 真空室尺寸(cùn) | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
| 真空機組 | KT630擴散泵(bèng)機組 | 雙KT630擴(kuò)散(sàn)泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT800擴散泵機組 | 雙KT1000擴散泵機(jī)組 | 雙KT1000擴散泵機(jī)組 |
| 鍍膜係統 | 直流電源或中頻電源+多(duō)弧電源+E型電子槍+電阻蒸發舟+霍爾離子源+條形(xíng)離子源(可選配(pèi)) | ||||||
| 輔助鍍(dù)膜係統 | 低溫離子輔助源(除工具鍍外(wài)無(wú)需加溫係統) | ||||||
| 充氣係統 | 質量(liàng)流量計(jì) | ||||||
| 控製係統 | 工業電腦自動控製(工控機)、PYDNB3000膜層在線編製係統 | ||||||
| 控製方式 | 手(shǒu)動、半自動、全自動(dòng) | ||||||
| 抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
| 極限真(zhēn)空 | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa |
| 備注 | 以上設備參數(shù)僅做參考,具體均按客戶實際工藝要求設計(jì)訂做(可選配進口分子泵機組) | ||||||