真空鍍膜機主要指一類（lèi）需要在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很（hěn）多種類，包括真空離子蒸（zhēng）發，磁控濺射，MBE分子束外延（yán），PLD激光濺射（shè）沉積等很多（duō）種。主要思路是分成蒸發和濺射兩種。真空鍍膜機是目前製作真空條件應用最為廣泛的設備，對其操作（zuò）程序的了解是至關重要的環（huán）節，在（zài）真空鍍膜機的具體操作過程中建議參照以（yǐ）下標注說明：

        一、 檢查真空鍍膜機（jī）各操作控製開關是否在（zài）"關"位置。

        二、打開總（zǒng）電源開關，設備（bèi）送電。

        三、低壓閥（fá）拉出。開充氣閥，聽不到氣流聲後，啟動升鍾罩閥，鍾罩（zhào）升（shēng）起。

        四、安裝（zhuāng）固定鎢螺旋加熱子。把PVDF薄膜和鋁蓋（gài）板固定在轉動圓盤上。把鋁絲穿放（fàng）在螺旋加熱子（zǐ）內。清理鍾罩內各部位（wèi），保證無任何雜質（zhì）汙（wū）物。

        五、落（luò）下鍾罩。

        六（liù）、啟動抽（chōu）真空機械泵。

        七、開複合真空計電源(複合真空（kōng）計型號:Fzh-1A)。

               1）左旋鈕"1"順時針旋轉至指向2區段的加熱位置。

               2）低真（zhēn）空表"2"內指針順時針（zhēn）移動，當指針移動至110mA時，左旋（xuán）鈕"1"旋轉至指向2區段測量位置。

        八、當（dāng）低真空表"2"內指針再次順（shùn）時針移動至6.7Pa時，低壓閥推入（rù）。這時左旋鈕"1"旋（xuán）轉至指向1區段測量位置。

        九、 真空（kōng）鍍膜機開通冷卻水，啟動擴散泵，加熱40min。

        十、低壓閥拉出。重複一次⑦動作程（chéng）序:左下（xià）旋鈕（niǔ）"1"轉至指向（xiàng）2區段測量位置。低（dī）真空表"2"內指針順（shùn）時針移動，當指針移動至6.7Pa時，開高壓（yā）閥（fá）(閥杆（gǎn）順時針旋轉)。

        十一、等低真空表"2"內指針（zhēn）右移動至0.1Pa時，開規管燈絲開關。

                1）發射、零點測（cè）量（liàng）鈕"9"旋轉至指向發（fā）射位置。

                2）左下旋鈕"1"旋（xuán）轉至指向1區段測（cè）量位置。

        十二、 旋轉（zhuǎn）發射（shè）調節鈕"4"，使高壓真（zhēn）空表"5"內指針指向5。

        十三、 發射、零點、測量旋鈕"9"旋轉至指向零（líng）點位置。

        十四（sì）、旋轉零點調節鈕"10"，讓高壓真空表"5"內指針指向0位置（zhì）。

        十五、 發射、零點、測量旋鈕"9"旋轉至指向測量位置。

        十六、旋轉標準調節鈕（niǔ）"3"，讓高壓真空表"5"內指針指向10。

        十七（qī）、旋轉"倍加器"開關鈕（niǔ）"8"至指向10-12，當高壓真空表"5"內指針逆時針左移超過1時，再把"倍加器"開關（guān）旋鈕"8"旋轉至指（zhǐ）向10-3。

        十八、當高壓真空表"5"內指針逆時針移動超過（guò）6.7Pa時，開工件旋轉鈕開關，鍾罩內被鍍（dù）件PVDF膜轉動。

        十九（jiǔ）、開蒸發鈕開關。把電流分（fèn）插塞插入蒸發電極分配孔內(設有1、 2、 3、 4孔，可插入任意一孔)。

        二（èr）十、 右（yòu）手旋轉右側調壓器手輪，慢慢旋（xuán）轉升壓。

                  1）從視鏡窗口觀察鎢螺旋加熱子的加（jiā）熱溫度顏色變化情況。

                  2）當鎢螺旋（xuán）加熱子顏色變成黃橙色，鋁絲開始熔化時，左手操作擋板鈕（niǔ），移開鎢螺旋上方（fāng）擋板。

                  3）鋁絲全部熔化蒸發，擋板回原位。

                  4）右手旋轉調壓（yā）器手輪回零位。第一次蒸鍍工作完成。

        二十一、 如果再想（xiǎng）蒸（zhēng）鍍一次（cì）(為了增加電（diàn）極金屬層厚度):把電流分（fèn）插塞撥出插（chā）入另（lìng）一個（gè）電（diàn）極分配（pèi）孔。重複⑳操作動作。

        二（èr）十二、 關閉規管燈絲開關。關閉高壓閥(逆時針轉手柄)。關閉工件（jiàn）旋轉。關閉蒸（zhēng）發。旋轉機械泵（bèng）鈕至指向（xiàng）擴散泵位置。

        二十三、 低壓閥拉出（chū）。鍾罩充氣。充氣一段時間，當沒有氣.聲時，升鍾罩。

        二十四、鎢（wū）螺旋加（jiā）熱子內加（jiā）鋁（lǚ）絲。PVDF薄膜調（diào）換另一麵向下 (原下麵已（yǐ）鍍一層鋁（lǚ）膜（mó）麵向上)。緊固在轉動圓盤上。

        二十五、 落鍾罩。開機械（xiè）泵。

                    1） 左下旋鈕"1"旋轉至指向2區段測（cè）量位置 。

                    2）當低壓（yā）真（zhēn）空表"2"內指針順（shùn）時針移動（dòng）到6.7Pa時，低壓（yā）閥推入。

                    3） 左下旋鈕"1"旋轉至指向1區段測量位置。

                    4）當低壓真空表"2"內指針順時針移動到6.7Pa時，開高壓閥。旋鈕"1"旋（xuán）轉至（zhì）指（zhǐ）向（xiàng）2區段測量位置。

                    5）當低壓真空表"2"內指針（zhēn）順時針移動到指向0.1Pa時，開規管燈絲。

                    6）由⑰開始重複操作至⑳ 。

        二十六（liù）、 正常生產中，如遇到突然停電時，要立即切斷高真空測量，關閉規管燈絲，高壓閥、低壓閥拉出。來電後，先讓機械泵啟動工作3~5min後（hòu），再轉入正常生產（chǎn）。