油擴散泵的應用壓強（qiáng）範圍是10-1帕-10-7帕，它是（shì）利（lì）用氣（qì）體的擴散現象來排氣的，它具有結構簡單，操作方便，抽速大（最高可以達到10+5升/秒）等特（tè）點（diǎn）。油擴散泵主要（yào）由泵殼、噴嘴、導（dǎo）流管和加熱器組成，裏麵主要添加擴（kuò）散泵油（日本（běn）的型號（hào）是（shì）D-704#），根據噴嘴的多少可以分為單級泵和多級泵。
擴散泵（bèng）底部內儲存有擴散泵油，上部為進氣口，右側旁下部為出氣（qì）口，在工作時出氣（qì）口由機械泵提供前置壓強，機械泵充當前置泵。
當擴散泵的油被電爐加熱時，產生的（de）油蒸汽提（tí）供前置壓強，機械泵充當前（qián）置泵。當擴散泵油被電爐（lú）加熱時，產生的油蒸汽（qì）沿著導流管經傘形噴嘴向下噴出。因噴嘴外麵（miàn）有機械泵提供的1-10-1帕的（de）真空，故（gù）油蒸汽可噴出一段距離，構成一個向（xiàng）出氣口方向（xiàng）運（yùn）動（dòng）的射流。射流最後碰上由冷卻水冷卻（què）的泵壁，凝結為液體，流回（huí）蒸發器，即靠油的蒸發——噴射——凝結（jié），重複（fù）循環來實現抽氣的。
由進氣口進入泵內（nèi）的（de）氣體分子，一旦落入蒸汽（qì）流中，便獲得向下運動的動量，向下飛去（qù），由於射流具有高的流速（約（yuē）200米/秒），高的蒸汽密度，且擴散泵油具有高（gāo）的分子量（300-500）故能有效的帶走氣體分子，因此（cǐ）在（zài）射流的界麵內，氣體分子（zǐ）不可（kě）能（néng）長期（qī）滯留，且在射流界麵的兩（liǎng）邊，被抽氣體有很大的濃（nóng）度差，正是（shì）因（yīn）為這個濃度差被抽氣體能（néng）不斷的越過界麵，擴散進入射流中，被帶往出口處，在出口處再由（yóu）機械泵（bèng）抽走。
擴散泵的油蒸汽壓是決定泵的極限真空的重要因素，因此盡量選（xuǎn）用飽和蒸汽壓低的泵油，其化學特性要（yào）好（hǎo）。
擴散泵不能單（dān）獨用來抽氣，一般要求泵的最大出口壓強為40帕。擴散泵的抽速決定於第一級噴嘴與泵（bèng）體進氣口口徑間環形麵積的大小，抽速不（bú）是一恒定的值，而是隨著進氣口的壓強而變化的（de），當壓強在10-2～10-3帕的時候，擴（kuò）散泵的抽氣速度是最快的，當壓強（qiáng）小於5*10-4帕之後，擴散泵的抽氣速度（dù）最小（xiǎo），幾乎沒有抽氣能力（此時，進氣口的壓強較高，由於空氣的（de）密度較大，使蒸汽流形成（chéng）不了高速射流以（yǐ）阻擋空氣的反擴散，所以抽速下降）。
擴散泵在安（ān）裝前（qián）要清洗，之後才可以裝入擴散油，油（yóu）在加熱前，必須要先對（duì）泵抽真空，停機前要先將擴散泵油冷卻到60～70攝氏度，才可以關（guān）閉前級抽氣，最後關冷卻水。
由於油（yóu）擴（kuò）散泵是無法杜絕有返油的幾率，那麽沒有辦法（fǎ）保證精密產品的100％純淨，特別是半導體行（háng）業，所以就有“高真空冷凝泵（bèng）＋低真（zhēn）空機械泵”所組成的無油真（zhēn）空係統，冷凝泵組成的（de）排氣係統不僅排氣效率（lǜ）極高，而且有效保證真空（kōng）腔的清潔，保證產品的質量（避免（miǎn）產品被汙染、增強膜層與基板之間的附著力），但是其（qí）維護（hù）成本非常的高，造價昂貴，所以普及率沒有油擴散泵廣泛。
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