1、真空鍍膜設備每完成200個鍍膜程序以上，應清潔工作室一次。方法是:用燒堿(NaOH)飽和溶液反複擦洗真空室內壁，( 注意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液，以免（miǎn）灼傷)目的是使鍍上（shàng）去的膜料（liào）鋁(AL)與NaOH發生反（fǎn）應，反應後膜層脫落，並釋放出氫（qīng）氣（qì）。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內的汙垢。
2、當（dāng）粗抽（chōu）泵（bèng）(滑閥泵，旋（xuán）片泵)連續工作一（yī）個月(雨季減半)，需更換新油。方法是:擰開放油螺栓，放掉舊油，再將泵啟動數秒，使泵內的舊油完全排（pái）放出來。擰回放油螺（luó）栓，加入新油（yóu）至額定量(油視鏡觀察（chá）)。連續使用半年以上，換油時應將（jiāng）油蓋打開（kāi），用布擦幹淨箱內汙垢。
3、擴散泵連續使用6個月以上，抽（chōu）速（sù）明顯變（biàn）慢，或操作失當，充入大氣，拆去聯結水管，卸（xiè）下電爐（lú）盤，將一級噴嘴擰出，先用汽油將泵腔及泵膽清洗一遍，再用洗衣粉兌水清洗一遍，然後用清水徹底清洗幹淨，待水份（fèn）揮發幹以後，裝好泵膽，加（jiā）入新擴散泵油，並裝回機體，接好（hǎo）水管，裝好電爐盤，便可以重新開機。在重新開機前，要注意檢漏工作。方法是:啟動維持泵，關好大門（mén），數分鍾後，觀察（chá）擴散泵部（bù）分真空度是否達（dá）到6X10帕，否則要進行檢漏。檢查聯接處是否（fǒu）裝密封膠圈，或壓壞密封圈。排除漏氣隱患後方可（kě）加熱（rè），否則擴散泵油會燒環，無法進入工作狀態。

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