物理（lǐ）蒸鍍就（jiù）是（shì）把物質加熱揮發，然後將其蒸氣沉（chén）積在（zài）預（yù）定的基材（cái）上。由於蒸發源須加熱揮發，又是在真空中進行，故亦稱為熱蒸鍍（dù）或真空蒸（zhēng）鍍。

其（qí）可分（fèn）為（wéi）三個步驟: 

(1)凝態的（de）物質被加（jiā）熱揮發成汽相  
(2)蒸汽在具空中移動一段距離（lí）至基材 
(3)蒸汽在基材（cái）上冷卻凝結成薄膜