真空鍍膜機一般泛指物理氣相(xiàng)沉(chén)積技術(shù);鍍膜機則包(bāo)括物理氣相沉積和化學(xué)氣相沉積,以及化學等離子(zǐ)氣相沉積,範圍比較廣。冷水機根據(jù)冷凝器的不同,有風(fēng)冷式冷水(shuǐ)機和水冷式冷水機。根據溫度的不同,有低溫冷水機(零下50度以內都可),螺杆式冷凍機,大型(xíng)冷凍機(jī)組等。鍍膜冷水機,需要注意根據客戶要求的水壓來給客戶選擇冷水機型號,有激光鍍膜冷水機,真空鍍膜冷凍機,鍍膜機(jī)專用冷水機(jī)。
真空鍍膜機冷水機有水冷(lěng)式、風冷式(shì)兩(liǎng)種,水冷式(shì)製冷效果較好,但需要冷卻水,風冷式靈活方便,無需冷卻水,適合缺水地區或需移動場合使用。奧德機械新近推出(chū)ACH型冰熱兩用(yòng)機,在低溫高精度控溫領域有著廣泛的用途(tú)。
真空鍍(dù)膜機的特點: 一、配備:
1、壓縮機:日本三洋壓縮機超高能效,低噪音,安全可靠;
2、泵浦:LG、源立大流量冷凍機(jī)專用渦流水(shuǐ)泵(bèng),不堵塞起動(dòng)扭矩大;
3、電腦PC板,觸摸式控製,安(ān)全方便;
4、溫控器:進口液晶顯示(shì)溫控電子板;
5、美國進口ALCO膨脹閥、過濾器;
6、內置外覆絕熱材料的304不鏽鋼水(shuǐ)箱1個;
7、韓國LG電(diàn)器;
8、安全(quán)保護係統
1、壓縮機延時起動保護◎冰水泵過載及指示燈
2、壓縮機過載保護
3、馬達反轉保護及指示燈4、壓縮機過載保護及指示燈
4、冷媒不足保護及指(zhǐ)示燈
5、冷媒高壓安全閥◎散熱不良保護及指示燈
產品技術特點: 1、真空腔室的模塊(kuài)化設計和加工。通過此項技術提高了腔室設計和加工效率,提(tí)高了重大部件的加工質量和互換性,縮短了(le)整條線的交貨(huò)周期。
2、使(shǐ)用高性能旋(xuán)轉陰極和中頻電源,最(zuì)大蒸發電流達到400A,大(dà)大提高生產(chǎn)效率及膜層性能;
3、通過輔助5段供氣,提高真(zhēn)空環境工藝氣體(tǐ)分布均勻性,提高膜層質量(liàng);
4、安裝整體式模塊化陰極屏蔽擋(dǎng)板,大大(dà)減少維修時間,降低維修成本。
5、陰極采用隔離冷卻裝置,改變以往陰極磁鋼(gāng)因工作在(zài)循環水中不斷吸附雜質而影響磁場強度和壽命。新方法使磁鋼工作在真空環(huán)境,大大提高了陰極(jí)穩定性和壽命。
6、采用自(zì)主研發的傾斜式磁鋼矩陣排(pái)列,擴大了陰極靶材表麵氣隙場範圍,增大了(le)靶材被刻蝕濺射的麵積,提高靶材(cái)的利用率和均勻性。表麵氣隙場(chǎng)水平分量均勻性在±2%以內。
7、使(shǐ)用自主研發的三維空間磁場測量分析係統(tǒng),係統用於測量磁鋼陣列的空間氣隙(xì)場(chǎng)分布及磁鋼安裝、調整,為陰極研發提供有效(xiào)的技術手段。
8、觸(chù)摸屏(píng)+PLC,可以實(shí)現電腦全自動控製,自動手動隨時切換。
9、同時配備(bèi)先進的圓柱磁控濺射裝置和高效的電阻加熱蒸發裝置,將磁控濺射技術和加熱蒸發技(jì)術的有效結合,使設備的適用範圍更廣,可得到多種不同性能的膜層;
10、獨特的雙門(室(shì))結構,使工件及鍍料的裝卸與鍍膜可同(tóng)時進行,大大提高工作效率。</p>